A aušintuvasyra aušinimo vandens įrenginys, galintis užtikrinti pastovų slėgį, pastovią temperatūrą ir pastovų srautą. Tai yra įpurškiant atitinkamą vandens kiekį į vandens rezervuarą, aušinant vandenį per šaldymo sistemą ir naudojant siurblį aušinimo vandeniui transportuoti į įrangą, kurią reikia aušinti. Aušinamasis vanduo pašalina įrangos šilumą, kad būtų pasiektas vėsinimo efektas. Aušinimo vanduo į vidutinio dažnio įrangą pilamas daugiausia dėl didelio dažnio ir didelės srovės. Kai naudojamas magnetrono purškimo taikinys, jis sukels aukštą temperatūrą ir deformuos pistoletą, todėl pistoletui aušinti reikalinga vandens apvalkalas. Galima sakyti, kad magnetinis purškimas yra vienas ryškiausių dengimo technologijos pasiekimų. Jo privalumai yra gera plėvelės ir pagrindo sukibimo jėga, didelis purškimo greitis, mažas substrato temperatūros kilimas ir geras įrenginio stabilumas. Aušintuvas turi nepriklausomą vandens cirkuliacijos sistemą ir nepriklausomą šaldymo sistemą, kuriai nedaro įtakos išorinė aplinka. Kartu šios savybės užtikrina patikimą temperatūros kontrolę ir aukštos kokybės dengimo rezultatus vakuuminio jonų dengimo procese.
Vakuuminio jonų dengimo mašinos aušintuvo funkcija ir charakteristikos:
1. Taikinio aušinimas: Vakuuminio jonų dengimo mašinos taikinys naudojamas metalo jonams generuoti, tačiau dengimo proceso metu jis išskirs daug šilumos. Aušintuvas greitai atvėsina taikinį per cirkuliuojančią aušinimo sistemą, kad išlaikytų normalią taikinio darbinę temperatūrą, neleistų įrangai perkaisti, kad sugestų arba pablogėtų dangos kokybė, ir užtikrintų stabilų jonų išėjimą.
2.Stabilumo kontrolė:aušintuvasgali stabiliai valdyti įrangos temperatūrą, kad užtikrintų, jog įranga stabiliai veiktų normalioje darbo temperatūros diapazone. Tai padeda išlaikyti dangos konsistenciją ir stabilumą, pagerina dangos kokybės konsistenciją ir patikimumą.
3. Didelio tikslumo reguliavimas: aušintuvo veikimo parametrus galima reguliuoti pagal konkrečius reikalavimus, įskaitant aušinimo vandens temperatūrą, srautą ir slėgį. Tai įgalina aušintuvą tiksliai reguliuoti temperatūrą pagal skirtingus dengimo reikalavimus, užtikrinant dengimo proceso stabilumą ir aukštą kokybę.
3. Energijos taupymas: didelio efektyvumo aušinimo pajėgumas ir tiksli aušintuvo valdymo funkcija padeda sumažinti energijos sąnaudas. Efektyviai kontroliuojant įrangos temperatūrą, galima sumažinti papildomų energijos švaistymą ir pagerinti energijos panaudojimo efektyvumą.
5. Aplinkos apsaugos veiksmingumas: vakuuminio jonų dengimo mašinoje esantis aušintuvas gali sumažinti neigiamą poveikį aplinkai. Jis naudoja cirkuliacinį vandenį vėsinimui, sumažina vandens sąnaudas, o veikimo metu sukuria mažesnį triukšmą ir vibraciją.
6. Aplinkos kontrolė: vakuuminio jonų dengimo mašinoje esantis aušintuvas taip pat gali valdyti aplinkos temperatūrą ir drėgmę, kad būtų sukurta gera darbo aplinka. Tinkama aplinkos temperatūra ir drėgmė gali padidinti vakuumo laipsnį, sumažinti nešvarumų ir dujų poveikį bei pagerinti dangos kokybę.
Apibendrinant, taikantaušintuvaiVakuuminio jonų dengimo mašinose apima daugybę aspektų, tokių kaip aušinimo tikslai, aušinimo substratai, aušinimo įranga ir aplinkos kontrolė, įrangos ir ruošinių temperatūros kontrolės užtikrinimas dengimo proceso metu, dangos kokybės ir našumo gerinimas.